0
生长SiC单晶用的SiC粉体纯度要求很高,其中杂质含量应至少低于0.001%。在众多SiC粉合成方法中,气相法通过控制气源中的杂质含量可以获得纯度较高的SiC粉体;液相法中只有溶胶-凝胶法可以合成纯度满足单晶生长需要的SiC粉体;固相法中的改进自蔓延高温合成法将固态的Si源和C源作为原料,使其在1400~2000℃的高温下持续反应,最后得到高纯SiC粉体,是目前使用范围最广,合成工艺最成熟的SiC粉体的制备方法。
天岳先进使用的高纯碳化硅是将高纯硅粉和高纯碳粉按工艺配方均匀混合,在2000℃以上的高温条件下,于反应腔室内通过特定反应工艺,去除反应环境中残余的、反应微粉表面吸附的痕量杂质,使硅粉和碳粉按照既定化学计量比反应合成特定晶型和颗粒度的碳化硅颗粒。再经过破碎、筛分、清洗等工序,制得满足晶体生长要求的高纯度碳化硅粉原料。
相关资讯
最新产品
同类文章排行
- 碳化硅、白刚玉等磨料微粉是如何进行颗粒整形?
- 大面积碳化硅陶瓷膜层化学气相沉积(CVD)技术
- 碳化硅陶瓷反应连接技术
- 高精度碳化硅陶瓷制品无模成型工艺
- 碳化硅陶瓷凝胶注模成型工艺
- 集成电路制造装备用精密陶瓷结构件的特点
- 固相烧结碳化娃(SSiC)优缺点
- 如何实现碳化硅晶圆的高效低损伤抛光?
- 一张图:碳化硅这样提纯,能行吗?
- 碳化硅耐磨陶瓷胶粘涂层技术优点